真空燒結爐是一種瓷坯在真空條件下燒結的方法，氧化物陶瓷坯體的氣孔中含有的水蒸氣、氫、氧等氣體在燒結過程中借溶解、擴散沿著坯體晶界或通過晶粒可從氣孔中逸出。但其中的一氧化碳、二氧化碳，特別是氮，由于溶解度較低，不易從氣孔中逸出，致使制品內含有氣孔，致密度下降。如將坯體在真空條件下燒結，則所有氣體在坯體尚未*燒結前就會從氣孔中逸出，使制品不含氣孔，從而提高制品的致密度。
在高溫和一定的真空度下，使具有一定形狀的陶瓷坯體經物理化學過程變為致密、堅硬、體積穩定、具有一定性能的燒結體。物理化學過程包括粘滯流動、擴散、蒸發、凝聚、新相形成、溶解和沉淀、固溶體產生等。在過程進行中，粉末總表面能下降，宏觀上表現出坯體收縮，強度增加；微觀上表現為氣孔數量減少，氣孔形狀、大小改變，晶粒尺寸及形貌變化，晶粒長大，晶界減少，結構致密化。瓷坯中含有一定量的氣孔，其中水蒸氣、氫氣、氧氣能借助溶解和擴散過程從封閉氣孔中逸出，一氧化碳、二氧化碳和氮氣等由于溶解度較低，不易從封閉氣孔中逸出。樣品置于真空條件下，施加一定的驅動力，使氣體從封閉氣孔中逸出，能提高瓷件的致密度。爐內壓力為負壓的條件下進行的燒結稱為真空燒結。有間歇式真空燒結，也有連續式真空燒結。連續式真空燒結因為爐子比較復雜，真空度不好保障，沒有辦法通人氣體，燒結工藝曲線不好調整等，應用的很少。間歇式真空燒結有專門的真空燒結爐，配置配套的脫蠟爐；也有脫蠟—燒結一體爐。目前主流真空燒結是脫蠟（成型劑）和真空燒結在同一爐內一次完成的一體爐。
1、減少了有害成分，真空燒結爐減少了氣氛中有害成分（水、氧、氮）對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量只需真空度只要達到一定壓強就相當于含水量為很難達到的露點。而銷量好的真空燒結爐獲得這樣的真空度相對容易。而且對于宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛（如活性金屬的燒結），或不容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。
2、改良固相的性質，真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。并且真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。而且真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。
3、溫度要求低，真空燒結爐溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低很多溫度。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。并且真空燒結時通過嚴格控制真空度，即使爐內壓力不低于燒結金屬組分的蒸氣壓，也可大大減少或避免燒結硬質合金時出現鉆的揮發損失。
更新更新時間：2020-10-10
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