RTP快速退火爐一般都是以碘鎢燈管為發(fā)熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測溫并采用的模糊PID控制，具有很高的控溫精度<±5℃>，該爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。標(biāo)準(zhǔn)配件需：高溫手套1付，熱電偶1根，石英管1根，真空法蘭1套?？蛇x配件：氧化鋁坩堝，石英坩堝，真空泵。
該設(shè)備可選擇單設(shè)定點或30段可編程控制器。節(jié)能型的陶瓷纖維材料和雙層結(jié)構(gòu)，可將外表溫度降到常溫。均溫區(qū)長，操作簡便，密封可靠，綜合性能指標(biāo)較高，處于國內(nèi)*水平。爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。
產(chǎn)品用途：
主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，可在真空、不同氣氛、空氣不同環(huán)境下，對樣品進(jìn)行快速熱處理，不同材料快速退火、硅化、擴散、晶化和致密化等。
結(jié)構(gòu)與配置：
該爐型具由我公司專業(yè)化設(shè)計制造的保溫層，采用業(yè)內(nèi)高標(biāo)準(zhǔn)的高純陶瓷纖維高壓模塊，組成全纖維保溫爐襯。
RTP快速退火爐的發(fā)熱元件從材質(zhì)到設(shè)計經(jīng)過嚴(yán)格質(zhì)量控制，能夠極大提高加熱效率，快速完成退火熱處理工藝。在節(jié)能節(jié)電方面的優(yōu)勢更加突出，微電腦程序控制整個退火工藝過程，實時自動化計算退火工藝所需的功率，同比節(jié)能節(jié)電30-50%。
此爐適用于下列工作條件：
1、環(huán)境溫度在-10～75℃之間。
2、周圍環(huán)境的相對濕度不超過85%。
3、爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
4、沒有明顯的傾斜﹑振動和顛簸。
產(chǎn)品特點：
1、可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的Zui大尺寸為4英寸（100mm）。
2、快速控溫與高真空：Zui高升溫速率可達(dá)100℃/s，真空度Zui高可達(dá)到10Pa。
3、程序設(shè)定與氣路擴展：Zui多可創(chuàng)建和存儲32個程序、8個PID設(shè)定，實現(xiàn)不同溫度段的精確測試。Zui多可擴展至4條工藝氣路（MFC），應(yīng)用不同氣氛環(huán)境（真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等）。
4、全自動智能控制：采用全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。
5、超高安全系數(shù)：采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，全面保障儀器使用安全。
更新更新時間：2020-01-15
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